1. 高效节能 采用自主创新设计的智能变频感应加热系统,比传统中频炉节能80%以上(对同一铂坩埚加热,维持1300℃恒温,铱坩埚加热节能可达50%以上,维持2000℃恒温)。 2. 全程计算机控制自动生长 用户装载多晶料和籽晶,设定必要参数后,即可开始自动化控制生长。系统自动完成“真空-升温-熔融-保温-下晶-缩颈-放肩-等径-收径-拉脱-退火-降温-完成”等一系列操作,无需人工参与。 3. 提供多种晶体材料生长工艺包(备选) 基于多年研究实践,提供铌酸锂、钽酸锂、YAG和蓝宝石等多种晶体材料生长工艺包,确保用户能够成功生长相应晶体; 工艺包采用统一的定义标准; 支持用户创建工艺包; 用户可加密工艺包; 4. 高控制精度 采用先进的智能控制算法,实现晶体形状控制,直径控制精度为±0.5mm,最小控制直径3mm,最大直径受限于坩埚尺寸; 实现控制参数智能在线自整定; 性能优良的智能PID温度控制,控温精度±0.1℃; 高精度进口电磁感应式称重分辨率为0.01g,范围4.2-32kg可选。 5. 数据记录和分析 可记录任意指定参数; 存储数据量无限制(仅限于计算机硬盘容量); 支持在线查看和分析数据。 6. 高度安全性 系统自动监控并记录安全参数(坩埚温度、冷却水压、真空度、各模块工作状态等); 支持多种警报方式(发出警示声音、指示灯以及手机短信发送至管理人员手机等); 支持安全警报分级及预设安全处理方案,自动处理常见问题。 7. 模块化设计 模块化的软硬件系统; 支持用户定制模块; 快速增减模块,降低用户成本,提高系统灵活性; 支持远程故障诊断和恢复,远程固件更新。 8. 友好的用户界面 方便易用的用户界面,用户通过简单培训即可使用系统; 支持远程管理,一个操作人员可以同时管理多台生长设备; 支持远程故障分析,更快、更有效解决故障。
1. 对同一个铂坩埚感应加热,维持1300℃,比传统晶体炉最高节能80%以上; 2. 控温范围:室温至2100℃,控温精度:±0.1℃; 3. 称重范围:4.2,-32kg,分辨率: 0.01g; 4. 极限真空度:10-3帕; 5. 炉体内径:600mm(可根据用户需求定制,另有500, 700, 800, 900mm可选); 6. 炉体高度:1.5mm(可根据用户需求定制); 7. 提拉行程:950mm(可根据用户需求定制); 8. 提拉速度:0.01 ~10000mm/h; 9. 旋转速度:0.01~100rpm; 10. 全程自动化控制生长; 11. 统一格式工艺包,确保用户能够采用本系统成功生长所需晶体; 12. 支持用户创建和加密工艺包; 13. 支持手动、半自动和全自动工作模式; 14. 全程记录指定工作参数和操作; 15. 支持多路高精度自动充气; 16. 安全监控系统,支持发送警报至指定手机; 17. 控制软件一年免费更新,支持在线更新。
1、高能效智能变频感应加热系统,包括: 智能变频感应加热电源控制器1套 专利技术感应加热线圈1个 2. AutoCrystal V2.0 晶体生长控制软件 1套 AutoCzoch系列晶体炉专用控制软件,集合最先进的软件设计技术和自动控制技术,提供简洁易用的用户界面和管理界面; 标准生长工艺包一个(可选配):铌酸锂、钽酸锂、YAG、蓝宝石可选。 3. 硬件控制模块 主控计算机; 欧陆温度控制器; 高精度称重控制器; 真空系统控制器; 气体流量控制器; 旋转电机控制模块; 提拉电机控制模块 ; 安全监控系统。 4. 循环水冷系统 1套 5. 高性能传动系统 1套 进口滚珠丝杠1个; 高精度步进电机 2个。 6. 坩埚升降自动调节系统 1套 进口滚珠丝杠1个; 高精度步进电机 2个。 控制器1个。 7. 控制柜1个 8. 专用电缆 9. 应急UPS电源(备选)
主要特点 1、高效节能 采用智能变频技术和自主创新技术研制的感应加热线圈,用于自主研发的AutoCzoch系列光电晶体提拉炉,比传统中频加热晶体炉节能可达80%(对同一铂坩埚加热,维持1300℃恒温)。 2.体积小 相同功率输出,体积小于传统中频电源体积的1/5。 3.智能化 自动负载分析和工作参数调整; 自动记录系统工作参数; 支持数字和模拟控制模式。 4. 用途广泛 可用于各种晶体生长设备; 可用于熔炼、中频焊接等。 主要参数 输出功率范围5-50kW; 控制精度:1/50000; 根据负载自动调节工作参数,使系统工作在最佳状态; 模拟控制接口0-5V; 基于RS485和Modbus的数字控制接口; 功率因数>0.97; 过压、过流、高温、无冷却等监测和自保护功能; 工作参数自动记录,支持远程故障分析; 两相或三相供电;